DosiTorr

超潔凈、高耐用、抗腐蝕的高真空壓力測(cè)量方案

核心優(yōu)勢(shì)：

• 可直接替換多數(shù)電離規(guī)（1:1兼容）

• 自主工作的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)（SRG）

• 傳遞標(biāo)準(zhǔn)級(jí)精度

• 測(cè)量范圍：10 mbar 至 5×10?? mbar

• 100%線性輸出

• "零"漂移（<1.5%/年）

• 抗腐蝕與沉積

• 可更換傳感器

• 超潔凈/無(wú)菌設(shè)計(jì)

• 真空腔內(nèi)無(wú)電子元件

• 與設(shè)備同壽命設(shè)計(jì)

• 24VDC供電

• 0-10VDC可配置輸出

典型應(yīng)用：

• 故障電離規(guī)替換

• 離子注入、干法蝕刻

• 在線真空絕緣監(jiān)測(cè)

技術(shù)說(shuō)明

DosiTorr是基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)（SRG）技術(shù)的工藝用壓力計(jì)。其采用不銹鋼球體通過(guò)電磁力旋轉(zhuǎn)的簡(jiǎn)約設(shè)計(jì)，相比皮拉尼規(guī)（熱傳導(dǎo)）或電離規(guī)（電離效應(yīng)），不會(huì)對(duì)被測(cè)介質(zhì)產(chǎn)生影響，是高純工藝環(huán)境的理想選擇。即使在腐蝕性工藝環(huán)境中，DosiTorr仍能保持長(zhǎng)期穩(wěn)定的高精度測(cè)量，這得益于SRG傳感器對(duì)沉積和腐蝕的天然抗性。

SRG技術(shù)工藝優(yōu)勢(shì)

SRG技術(shù)的高精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性已在真空計(jì)校準(zhǔn)領(lǐng)域（如電離規(guī)校準(zhǔn)）得到多年驗(yàn)證。如今，該技術(shù)以自主式工藝傳感器的形式呈現(xiàn)：

• 超高精度：0.1 mbar至1×10?? mbar范圍內(nèi)達(dá)讀數(shù)±1%

• 100%線性壓力讀數(shù)（與氣體種類無(wú)關(guān)）

• 長(zhǎng)期穩(wěn)定性：年漂移率<1.5%

• 不銹鋼傳感器抗腐蝕與沉積

• 安全潔凈測(cè)量：無(wú)污染/無(wú)熱輻射/無(wú)電離效應(yīng)

增強(qiáng)型工藝適配設(shè)計(jì)：

• 磁屏蔽：抗外部磁場(chǎng)干擾

• 強(qiáng)化磁懸浮系統(tǒng)：提升測(cè)量可靠性

• 集成溫度傳感器：自動(dòng)溫漂補(bǔ)償

• 更高轉(zhuǎn)速：降低振動(dòng)敏感性

SRG技術(shù)原理

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)（SRG）基于氣體分子吸附-脫附導(dǎo)致的轉(zhuǎn)子減速效應(yīng)，通過(guò)測(cè)量減速速率計(jì)算真空壓力。系統(tǒng)包含三大組件：

1. 傳感器組件

• 磁性不銹鋼球體（傳感器核心）

• 安裝在連接真空系統(tǒng)的套管中

2. 測(cè)量頭組件

• 通過(guò)電磁場(chǎng)實(shí)現(xiàn)懸浮/加速/測(cè)量

• 外置于真空系統(tǒng)

3. 電子控制單元

• 傳感器控制與信號(hào)處理

產(chǎn)品系列

為滿足不同工藝需求，提供多種配置方案：